It utilizes optical phase shifting mask to improve resolution limit for an existing wafer stepper.

它应用了光学相移掩模方法，大大提高了现有光学光刻设备的分辨率水平。

youdao

It utilizes optical phase shifting mask to improve resolution limit for an existing wafer stepper.

它应用了光学相移掩模方法，大大提高了现有光学光刻设备的分辨率水平。

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