• Instead of surface sacrificial layer and bulk micromachining technique, using polymer as thermal isolation material decreases cost and improves yield.

    聚合物材料作为绝热材料,避免表面牺牲工艺加工技术降低了成本提高了成品率

    youdao

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    聚合物材料作为绝热材料,避免表面牺牲工艺加工技术降低了成本提高了成品率

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