本书针对制造技术的最新进展与需求，以微米尺度零件的加工为主线，力求使读者能较为准确地理解和掌握微机械与微细加工技术的基础知识和常用微细加工方法的基本原理及应用。主要内容包括：微型机械与微细加工的基础知识；微细切削加工;；半导体材料的微细加工技术；微细电加工等微细特种加工技术；高能束流微细特种加工技术；纳米加工技术；生长型微细加工技术；典型微机械产品及其采用的微细加工技术等。 本书适合于研究生和高年级本科生及从事微细加工研究的教师和工程技术人员参考使用。也是相关人士了解最新微细加工技术的一本参考书。