材料学院 MOCVD MOCVD的定义 的定义 有机金属化学气相沉积（ Metal-Organic Chemical Vapor Deposition ，MOCVD） 是采用加热方式将化合物分解而进行外延 生长半导体化合物的方法。
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在这封信中，我们报告的Ga0.51In0.49P在Si外延生长的GaAs夹层低压有机金属化学气相沉积（OMCVD）的初步结果。的表面形貌和结晶质量的膜被发现是严重依赖于初始的GaAs缓冲层的生长参数。
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金属有机化学气相沉积 MOCVD ; Metal organic chemical vapor deposition ; metal organic Chemical Vapor Phase Deposition
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