关键词 : 电子回旋共振 ;化学气相沉积 ; 氮化铝薄膜 [gap=6376]Key words : electron cyclotron resonance ( ECR) ; chemical vapor deposition ; AlN film
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electron cyclotron resonance heating 电子回旋共振加热
electron cyclotron resonance ecr 电子回旋共振
Electron Cyclotron Resonance Thruster 电子回旋共振推力器
electron cyclotron resonance ion source 电子回旋共振离子源
ecr electron cyclotron resonance 电子回旋共振
electron cyclotron resonance focus 电子聚焦
electron cyclotron resonance etching system 电子回旋加速器共振蚀刻系统 ; 电子回旋加速器共振
ECA Electron Cyclotron Resonance 电子回旋共振微波等离子
以上来源于: WordNet
Off axis electron cyclotron resonance heating (ECRH) experiments have been performed in the HL-1M tokamak.
在HL 1M装置上进行了离轴电子回旋加热实验。
The results can provide useful information for the design and experiment of electron cyclotron resonance thruster.
数值模拟结果可以为推力器的设计和实验研究提供有用信息。
The numerical method for resolving the wave propagation and absorption of the electron cyclotron resonance(ECR) is proposed.
介绍了电子回旋共振（ECR）波的传播与吸收的数值求解方法。
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