erfc
第一种定浓度边界条件的浓度解析解是所谓的互补误差函数(complementary error function),其对应之扩散步骤称为「前扩散,即我们一般了解之扩散制程;当高温炉管升至工作温度后,把待扩散晶圆推入炉中,然后开始释放...
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