Low Pressure Chemical Vapor Deposition
low pressure chemical vapor deposition 低压化学汽相淀积 ; 低压化学气相沉积 ; 低压化学气 ; 低压化学气相沉积系统 high pressure chemical vapor deposition 高压化学气相沉积 ..
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主要成果包括: 在SWNTs阵列生长方面:对低压化学气相沉积系统(lowpressurechemicalvapordeposition,LPCVD)进行了改进,合成了多种SWNTs阵列。
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