4．1．2 区熔再结晶法（ZMR法） 在硅（或其它廉价衬底材料上）形成SiO，层，用Lp-CVD法在其上沉积硅层（3μm-5μm，晶粒尺寸为0.01-0.μm），将该层进行区...
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区熔再结晶法
Zone melting and recrystallization
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