为了估计与各种程序清洗和干燥的晶片表面的清洁，除气从这些晶片表面高度敏感的大气压电离质谱仪（APIMS）分析。特别是，解吸的异丙醇（IPA）和IPA蒸汽干燥后的晶片的水分从调查到APIMS通过引入的解吸气体从晶片表面。
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大气压电离质谱仪
Atmospheric pressure ionization mass spectrometer
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