软刻蚀技术通过使用高分子聚合物[例如聚二甲基硅氧烷( polydimethylsiloxine, PDMS )]在有图案的底模上形成印章,达到复制微米甚至纳米尺度结构的目的(图2)。
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如二甲基聚硅氧烷 mq
如聚二甲基硅氧烷
Such as polydimethylsiloxane
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这一任务可由一种简单的有机硅流体来完成,如聚二甲基硅氧烷。
This can be accomplished by a simple silicone fluid, such as polydimethylsiloxane.
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