（1998）报道了一层氧化层在SiO2/Si界面使用扫描反射电子显微镜（SREM）的相对薄的SiO2薄膜。该层由层氧化装置，在氧化过程中被保留的接口地形。
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扫描反射电子显微镜
Scanning reflection electron microscope
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