目前为止，其主要的制作工艺手段包括基于MEMs的工艺 和基于 显微机械加工 （ Micromachining ）的工艺。 文献【26】提出了一种新颖的基于MEMs工艺的光纤法布里一珀罗压力传感器，它利 用砌巳Ms技术将微型结构直接制作在光纤...
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微平版印术，显微机械加工，和微制作手册：卷一：微平版印术。
Handbook of Micro lithography, Micromachining, and Micro fabrication. Vol.1: microlithography.
通常，显微机械加工的部件和电子电路是分开制造的，然后在同一封装块内用线将它们连在一起。
More often, the micromachined part and electronics are fabricated separately and then wire bonded together in a single package.
刃口可通过扭转、切割、磨削、机械加工、激光显微机 械加工或喷钢砂处理形成。
The cutting edges may be formed by torsioning, cutting, grinding, machining, laser micromachining, or grit blasting.
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