定义 中文名称：氯化氙准分子激光器 英文名称：xenon chloride excimer laser 定义：以氙、氯化物气体(或氯气)、氦(或氩)的混合气体为工作物质的准分子激光器 。 应用学科： 机械工程（一级学科）；光学仪器（二级学科）；激光器件和激光设
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本文研究了混合气体比例、气体钝化、窗口污染和存放时间对横向流动氯化氙准分子激光器寿命的影响。
The effects of gas mixture ratio, gas passivation, optical window deposition and laser gas storage time on the lifetime of a transverse flow XeCl excimer laser were studied in detail.
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