有关积体电路制程技术，「深次微米（Deep Submicron）是指元件大小为何？
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...多数金属更低的电阻系数和优异的电子迁移 (electromigration)抗拒性，而铜制程已被认为是解决未来深次微米(deep sub-half micron)积体电路金属连线问题的新技术。
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... submicrometer copper: 亚微米铜 Deep submicrometer: 深次微米 submicrometer processing: 亚微米工艺 ...
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