...档档器 档力学像散性控制-四档位透档聚焦系档 施主-受主档 双档档-主模式 双档金属档-主液晶档示器 档档散射(LCD) 深紫外光(DUV) : 用来档光刻胶曝光的光源. 具有档生档小档像 档度的档点 行档 自档派档系档 洗档档 档档失效模式和影响分析 档比技档。
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...制程遇到了一些技术瓶颈,原本业界预期,浸润式显影曝光液体将可从纯水(water)进入高分辨率(High-Index)液体,同时深紫外光(EUV)的电源问题也可逐渐克服,但都陆续传出技术障碍。
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无论是传统光源还是LED光源,从蓝光到深紫外光(Deep UV),随着波长由365nm向280nm逐渐缩短,制备难度都在提高。
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紫外线辐射 ... ultra-violet rays 紫外线 Deep Ultra-Violet 深紫外光 ; 深 ; 紫外线 UV Ultra-violet 紫外线 ...
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短语
深紫外光刻
EUVL
;
[电子]
deep-UV lithography
;
deep ultra-violet lithography
;
DUV
纵深紫外光
DUV
;
deep ultra-violet
深紫外光致抗蚀剂
deep UV resist
分子雷射深紫外光
Deep UV
;
DUV
的深紫外光
DUV
;
deepultra-violet
深紫外光强度分布
the distribution of the deep uv light intensity
深紫外激光器
Deep UV Laser
-
deep uv
- 引用次数:1
参考来源 - 新的交替共聚高分子4
·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress