【摘要】： 用改进的热壁物理气相沉积(HWPVD)装置制备出晶体质量较好的多晶HgI2膜,研究了生长参数对沉积膜质量的影响,对多晶HgI2膜用金相显微镜、XRD、红外光谱进行了表征观察...
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热壁物理气相沉积法 Hot-Wall PVD ; Wall PVD
热壁物理气相沉积
Hot wall physical vapor deposition
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