【电化学微加工技术】

电化学微加工技术

Electrochemical Micromachining

... 电化学加工的阴极设计 Cathode design of Electrochemical machining 电化学微加工技术 Electrochemical Micromachining 电化学机械加工 ECMM ...

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ECMM

论文概述: 电化学微加工技术(Electrochemical Micromachining,ECMM)因为具有加工单位小(0.1nm以下)、无宏观加工作用力、加工白勺外表质量好(无残余应力、外表变质层和...

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电化学微加工技术

Electrochemical microfabrication technology

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其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义，在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时，可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术。

The consequences are benefit to Silicon electrochemical micromachining technology and the technology will be hopeful to become an new technology about Silicon deep-holes etching technology.

youdao

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