电子束加工是利用高能量的会聚电子束的热效应或电离效应对材料进行的加工。利用电子束的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼，或直接使材料升华。电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法。
二、电子束与激光加工的原理 电子束加工（electron beam machining，EBM）是在真空条件下，利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106～109W/cm2的极细束流，高...
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... electron beam probing 电子束探测 electron beam processing 电子束加工 electron beam projection 电子束投影 ...
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... beam power valve 束射功率管 beam processing 电子束加工 beam propagation 光束流传 ...
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数控钣金加工的拉削是一个用于切割加工操作键槽为轴，电子束加工（EBM）是一种加工工艺在高速度的电子朝向工件，产生热量和蒸发的材料。超声波加工使用超声波振动加工硬脆材料。
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水射流加工就是其中的一种加工方法，它和新出现的电子束加工，超声波等加工方法被称为特种加工方法。
Waterjet cut is one of the processing methods, it and the emergence of electron beam processing, ultrasonic machining method is called special processing method.
本文对电子束加工微细弯孔的有关问题进行了研究，导出了相关的物理方程，为微细弯孔的加工提供了理论依据。
This paper studied the problems in machining tiny curved holes with electron beam. The concerned formulae were derived so as to provide the basis for machining of tiny cured holes.
结合实际工作，分析、探讨了影响电子束曝光机加工微细化的因素。
We study the factors which affect electron-beam micro lithography, combining with our practical work.
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