electron evaporating method
电子束蒸发法(EBE)是指蒸发材料置于水冷坩埚中，利用电子束进行直接加热，使蒸发材料汽化并在衬底上凝结形成薄膜的方法[6]。
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电子束蒸发淀积法 electron beam vapor deposition method
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