电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器。
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本文提出了一种基于数字调制和解调技术的电容式位移传感器的设计方法。
This paper presents a design method of capacitance displacement sensor based on digital synthesis technology.
德国米铱公司提供的电容式位移传感器被用于以纳米级的精度校准芯片光刻机中镜片的位置，测量晶圆厚度等应用。
Capacitive sensors from Micro-Epsilon are used, among other things, for the positioning, displacement measurement and thickness measurement in the semiconductors area.
该文利用有限元法对电容式角位移传感器三维电场进行分析，仿真研究不同结构参数的敏感元件，所得结论与实验结果吻合。
Electric field of capacitive angular sensor are analyzed by finite element methodology. Sensors with different dimensions are studied by simulation. The result is proved by the experiment.
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