然而，以目前大量使用的深紫外光(deep ultra violet,DUV) 光源而言，所提供之解析 度(resolution) 与光源的波长有关，因此有其极限存在。
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电子束技术之基本原理与应用 - docin.com豆丁网 。当今所使用的微 影系统中，以光学微影设备为主流，主要是由于其产能大、良率高，因而成本较低。 然而，以目前大量使用的深紫外光(deep ultra violet,DUV) 光源而言，所提供之解析 度(resolution) 与光源的波长有关，因此有其极限存在。例如，以氟
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