其中，北方华创自主研发的14纳米Hardmask PVD（硬掩模物理气相沉积）设备已成功进入国际主流集成电路生产线验证，这是北方华创继14纳米刻蚀机、单片退火设备之后，又一类14纳米IC设备进入工艺验证阶...
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硬掩模物理气相沉积
Hard mask physical vapor deposition
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