focused ion beam lithography
... focused ion beam lithography 聚焦离子束光刻 Focused Ion beam microscopy 聚焦式离子束显微镜 Dual-Beam Focused Ion Beam Microscopy 双束型聚焦离子束显微镜 ...
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...thography’NGL),而这一技术的代表包括了极紫外光刻(EUVL)、 X射线光刻(XRL)、电子束光刻(EBL)、聚焦离子束光刻(FIBL)以及纳米压 印光刻(NlL)等。
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