...良率下降，且晶圆对空气中粒子的要求程度高，故人员进出皆要著防尘衣，故现今12吋晶圆厂大部份引进了全自动物料搬运系统（AMHS），一方面可增加产出率，另一方面也可避免因为人员的接触物料而导致粒子的附著或搬运不慎或错误造成动辄上亿元的损失。
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... 自动物料搬运系统 AMHS ; automatic material handling system 物料搬运单 move order 物料搬运单转移 Move Order Transfer ...
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自动化物料搬运系统 AMHS ; Automated Material Handling System
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