...结果 《应用光学》 2011年卷002期 - 刘志超,卫耀伟,陈松林,马平 采用原子层沉积技术(atomic layer deposition,ALD)在熔石英和BK7玻璃基底上镀制A12O3单层膜.
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采用原子层沉积技术
Atomic layer deposition technique is adopted
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