titanium sublimation pump
...ump）；低温吸附泵（Cryo Pump）；离子溅射泵（Ion Pump）；涡 轮分子泵（Turbo Pump）；钛升华泵（Titanium sublimation Pump） 高真空泵 扩散泵 低温吸附泵 离子溅射泵 涡轮分子泵 钛升华泵 工作 原理 扩散产生 的曳力 克克方程，低温冷 凝，低温吸附，低温...
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钛升华泵是靠新鲜钛膜的化学吸附作用抽气的真空泵。这种泵具有结构简单、抽速大、无油污染、抗辐射和无振动噪声等特点，启动压力为1～10-2帕，工作压力范围为10-2～10-8帕，是获得无油超高真空的重要真空泵。钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置，以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用。
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