...节点的新的技术应用,涉及如下几个方面:浸入式光刻的延伸技术、迁移率增强衬底技术、金属栅/高介电常数栅介质( metal/high-k,MHK)栅结构、超浅结(ultra-shallowjunc-tion,USJ)以及其他应变增强工程的方法,包...
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