2.2 设施 2.2.1 洁净室的空调系统(air handling system) 2.2.1.1 每个生产区(fabrication area)的回风系统(return air system)不应与建筑物的 其它空调系统连接。
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Drawing of air handling system is attached in Attachment B.
空气处理系统图纸见附件B。
Larger dust particles are also more easily captured by filters in the air handling system.
较大的尘埃颗粒也更容易捕获处理系统中的空气过滤器。
This paper presents a comprehensive air handling system and its working process, the equipment configuration and working characteristics.
本文介绍了一种综合的空气处理系统的工艺流程、组成设备和工作特点。
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