近十几年来出现的原子层沉积技术（ALD-atomic layer deposition）在纳米科技领域具有独特而巨大的应用前景。本报告介绍报告人在美国近十年在ALD方面科研、应用、工艺、沉积设备的最近研发成果。
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ald-atomic layer deposition
ald原子层沉积
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