这里是研究薄膜技术的，而我的工作就是研究如何改善碳膜（Amorphous Carbon Film）的性能。Buck教授给了我一些材料，让我先了解一点有关无定形碳膜的基本概念，懂得大概朝什么方向开展工作；又带我去看了我的办公...
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hydrogenated amorphous carbon film 含氢非晶碳膜
nano-amorphous carbon film 纳米非晶碳膜
fluorinated amorphous carbon film 氟化非晶碳薄膜
tetrahedral amorphous carbon film 四面体非晶碳膜
Cr-doped amorphous carbon film 掺铬非晶碳膜
nitrogen doped amorphous carbon film 掺氮类金刚石薄膜
nitrogen containing amorphous carbon film 掺氮非晶碳薄膜
Finally, the applications of the amorphous carbon film are discussed.
最后对对非晶态碳膜的应用前景进行了讨论。
In this paper, the recent research progress of low-K fluorinated amorphous carbon film is introduced.
着重叙述了具有低介电常数的氟化非晶碳薄膜的研究进展。
Methods for high temperature deposition an amorphous carbon film with improved step coverage are provided.
提供了一种以提高的台阶覆盖率高温沉积非晶碳膜的方法。
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