[转帖]石英微机械惯性传感器的加工技术 关键词 ：石英；微机械陀螺；各向异性刻蚀[gap=4644]Keywords : Quartz, Micromachined Gyro, Anisotropic Etching
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干蚀刻最大的优点即是非等向性蚀刻 （Anisotropic Etching），然而选择性却比湿蚀刻低，这是因为干蚀刻的蚀刻机制基本上是 一种物理交互作用；因此离子的撞击不但可以移除被蚀刻的薄膜，也同...
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KOH anisotropic etching KOH各向异性腐蚀
wet anisotropic etching 各向异性腐蚀
silicon anisotropic etching 硅的各向异性腐蚀
maskless anisotropic etching 无掩模各向异性腐蚀
anisotropic etching technology 各向异性腐蚀
anisotropic etching of si 硅各向异性腐蚀
anisotropic etching of silicon 硅各向异性腐蚀技术
Anisotropic etching of silicon is a key technology of micromachining.
硅的各向异性腐蚀技术是制造微机械部件的主要技术,相对成本较低。
参考来源 - 用元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀Silicon grating is a period construction fabricated on the silicon wafer by micro fabrication techniques as ultravioletlithography and anisotropic etching.
硅光栅是利用紫外光刻、各向异性腐蚀等硅微加工技术在硅片上制作的周期结构。
参考来源 - 用于生化分析的光谱仪微小型化的研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
It has advantages of sample structure, low damage and anisotropic etching.
该装置具有结构简单，低损伤和各向异性刻蚀的优点。
This paper has Studied anisotropic etching mechanism of St in KOH scution by using collision theory.
本文应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液中各向异性腐蚀的机理。
This paper introduces the computer simulation for the anisotropic etching used in micro-machining of sensors.
本文介绍传感器微机械加工中使用的各向异性腐蚀的计算机模拟。
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