铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其光电学性能研究_材料科学_毕业设计论文网 关键词：氧化锌铝；掺杂；磁控溅射；氩氧比 [gap=1696]Keywords：AZO; Doping; Magnetron sputtering; Argon-oxygen ratio
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