...术、资源和专长,在20nm以下高纯度半导体零配件清洗市场上开展前沿业务,主要生产 Atomically Clean Surface™(原子级清洁表面)处理室零配件。 ChemTrace 已经为面向厚度不小于20nm的前体与薄膜的微量金属元素分析开发了新技术。
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atomically clean surface
原子清洁表面
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