...化物IGZO TFT结构 目前金属氧化物IGZO TFT的结构主要有刻蚀 阻挡型(etch stop type)、背沟道刻蚀型(back channel etch type)和共面型(coplanar type)三种类 型,其结构特点及优缺点如表2所示。
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back channel etch type
后通道蚀刻型
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