对洁净度要求高的工艺,则根据其所需要采用空气洁净室(CR-Cleanroom)和生物洁净室(BCR-Biological Cleanroom)。各种洁净室是借助于相应的空气净化措施,其中重要的一环就是供给足量、经过净化的洁净空气,使其室内达到规定的空气洁净度
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bcr-biological cleanroom
bcr-biological洁净室
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