bottom anti-reflective coating
用于字符线多重平坦化的阶梯式多重回蚀工艺 ile)的方法，至少包含提供具有字符线(word line)的基板，并在基板及字符在线沉积多晶硅层；接着在多晶硅层上沉积有机底部抗反射层(Bottom Antireflective Coating，BARC)；接着执行阶梯式蚀刻以去除底部抗反射层及一部分的多晶硅层。阶梯式蚀刻包含一系列的蚀刻循环，每一循环包
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a、底部抗反射涂层(BARC,Bottom Anti-Reflective Coating)。将抗反射涂层涂覆在光刻胶的底部来削减底部光的反射。
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bottom anti-reflective coating
底部防反射涂层
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