... 以及用于分隔晶矽层与矽承载晶圆(silicon-handlewafer) 的薄埋氧化物层(buried-oxide layer) 纳米波长作为光纤通道，得到4.3 dB/cm ...
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buried oxide layer 层
double buried oxide layer 双介质埋层
buried-oxide layer
氧化埋层
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