与体硅材料相比, SOI 材料的最大不同 就是在 SOI 材料中存在着一层绝缘层( buried oxide layer ,BOX) . 而这层BOX 将对 Si Ge 薄膜的弛豫过 程 产生极大的影响.
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buried-oxide layer 的薄埋氧化物层
double buried oxide layer 双介质埋层
buried oxide layer
埋藏氧化层
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