电容式rfmems开关
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capacitive series RF MEMS switch 串联电容式RF
Capacitive coupling RF MEMS switch 电容耦合并联式
capacitive rf mems switch
电容式射频mems开关
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The design and fabrication of a capacitive series RF MEMS switch is reported.
介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。
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