本研究利用半导体制程中的电子束及 光学微影技术， 配合化学增幅型阻剂(chemically amplified resists)与热流(thermal flow)微缩技术 用于自组装的奈米粒子的择区成长。
基于1个网页-相关网页
chemically amplified resists
化学放大抗蚀剂
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动