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closed-field unbalanced magnetron sputtering

  • 闭合场非平衡磁控溅射

网络释义专业释义

  闭合场非平衡磁控溅射

闭合场非平衡磁控溅射（Closed-field Unbalanced Magnetron Sputtering，CFUMS） 技术的主要特点在于它是至少两个非平衡磁控管的组合，磁控管按照相邻磁极极性相反 的方式来组合工作，使...

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