蚀刻过铝膜上低介电层CMP技术,镶嵌金属(Damascene metal),铝 CMP,铜CMP,CMP及表面清洁技术,CMP用之浆液开发,CMP另类平
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damascene metal
波纹的金属
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In yet another embodiment, metal layer (16) is a damascene copper layer.
然而，在另一个实施例中，金属层(16)是镶嵌铜层。
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