digital mass flow controller
...业制程的趋势中，对于沉积及蚀刻制要求的研究，明显地，产业界需要更佳的数位化气体控制执行能力(Digital Mass Flow Controller)以及其它的关键技术。
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digital mass flow controller
数字质量流量控制器
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The thermal sensor had a large lag phase, so the data got by the sensor of digital mass flow controller should be compensated in advance.
热式传感器有很大的滞后环节，在数字质量流量控制器中需要对传感器数据进行补偿。
youdao
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