... doorknob transformer 门钮形转换器 dopant activation 掺杂剂活化 dopant atom 掺杂剂原子 ...
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该设备包括可将所有的制程步骤, 包括闸极氧化(gate oxidation), 搀杂物活化(dopant activation), 多晶化手续(..
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在形成超浅型接面的例子 中,它的热制程主要目的则是掺杂活化 (Dopant Activation),所以我们要设计出一个 有选择性的回火程式,以其达到主要热制程 目的,然后再想法降低热预算。
lateral dopant activation 与侧向掺杂活化
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