例如,一种双镶嵌(dual-damascene)结构的制造方法,现有技术的做法是在形成通孔(via)和沟槽(trench)之后,刻蚀通孔底部以暴露出下层介质层中的金属铜导线,然后...
基于1个网页-相关网页
dual damascene 双镶嵌 ; 双道金属镶嵌法 ; 又称双大马士革工艺
dual damascene electroplating 双大马士革电镀
Cu dual Damascene technology 铜大马士革工艺
·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
应用推荐