电子束扫描法(E-Beam Scanning)采用电子束对抗蚀剂进行曝光，由于高速的电子具有较小的波长， 分辨率极高。
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e beam scanning 电子束扫描
accurate e beam scanning method 精确波束扫描法
e-beam scanning
电子束扫描
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The process of nonlinear distortion correction of orthogonal pattern group in E-beam scanning is introduced.
论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程。
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