因此,必须经过严格的清 洗工艺去除这些沾污,从而满足MOCVD外延工艺的要求,达到开盒即用 (Epi-ready)的标准。 对于不同类型的沾污,需要采用不同的方法加以去除。
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...碳化硅晶片中试出产线,建成为了百级超净室,开发出碳化硅晶片外貌处理,洗濯、封装等工艺技能,使产品达到了即开即用(Epi-ready)的水准。几天前,第一批中试批量出产的6H和4H晶型碳化硅晶片产品已经下线,并发往国内用户。
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...2005年1月29日可根据客户的具体要求,能提供不同规格和尺寸的 Sapphire 晶体及其加工件,以及蓝光二极管用外延基片( Epi-ready ) 使用道具 举报 ..
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