代表产品有美国 5.刻蚀:采用干法刻蚀(Ery Eatching) 的Ultrotec。 6.去胶:化学方法及干法去胶 存在问题是: 1丙酮中,然后用无水乙醇 (1)Mask难做,要求平坦,不能有缺陷。
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ery eatching
非常各户
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