...薄膜和微带线滤波器 为了减小高频段时来自于衬底的损耗,利用硅 体微加工技术的乙二胺邻苯二酚(ethylenediamine pyrocatechol,EDP)湿法刻蚀硅形成的腔体实现微 带线的悬空,S.V.Robertson等人【23制作了W波 段(94.7...
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