氟化非晶碳薄膜
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amorphous fluorinated carbon film 非晶氟碳薄膜
fluorinated amorphous carbon film
氟化非晶碳膜
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In this paper, the recent research progress of low-K fluorinated amorphous carbon film is introduced.
着重叙述了具有低介电常数的氟化非晶碳薄膜的研究进展。
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